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質(zhì)量流量控制器用途與特點是什么?

發(fā)布日期:2022-04-13 10:01:28

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣相色譜儀,光導纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復(fù)性好。