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1179A流量計(jì)控制器

發(fā)布日期:2022-04-20 19:47:51

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司

MKS1179A氣體質(zhì)量流量計(jì)MKS1479A質(zhì)量流量計(jì)MKS2179A質(zhì)量流量計(jì)MKS1559A質(zhì)量流量計(jì)

MKS1179A氣體質(zhì)量流量計(jì)MKS氣體質(zhì)量流量計(jì)

1179A是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量,特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。
對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器,1179A可作為直接替代的產(chǎn)品,標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1179能夠直接進(jìn)行安裝而無(wú)需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù):
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 的全量程。
測(cè)量精度:全量程的1% 
靈敏度:全量程的0.1%
熱機(jī)時(shí)間:小于2Min.

美國(guó)MKS1179A氣體質(zhì)量流量計(jì)MKS1479A質(zhì)量流量計(jì)MKS2179A質(zhì)量流量計(jì)MKS1559A質(zhì)量流量計(jì),BROOKS 5850E氣體質(zhì)量流量計(jì),MKS壓力計(jì),MKS流量計(jì)主要產(chǎn)品:MKS金屬和彈性密封型流量計(jì)MKS1179A,MKS1479A,MKS2179A,MKS1559A,MKS流量控制器,MKS電容式壓力計(jì)MKS626A/MKS623A/MKS722A/MKS627B/MKS629B/MKS627C/MKS624B,MKS壓力傳感器,壓力開(kāi)關(guān),工業(yè)用傳感器,真空閥門,真空規(guī)以及傳感器等產(chǎn)品